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orgで，そして2009年11月にCD-ROMで入手可能となる。初版は1988年月発行，前版は2001年11月に発行された。
本標準應用在背光模組。標準中包含使用在背光模組元件的專用術語，以及背光模組工業、面板、和設備工業所用之檢驗和量測的專用術語。其他領域則由其他的
SEMI E87-0302 (technical revision)
11-0301 (first published)
org in October 2010
E01700 - SEMI E17 - Guide for Mass Flow Controller Transient Characteristics Tests Revision:SEMI E17-0600 - Superseded orgで，そして2009年11月にCD-ROMで入手可能となる。初版は1988年月発行，前版は2001年11月に発行された。1 Purpose 1. 1 The purpose of this Standard is to provide a test method for measurement of mass flow controller (MFC) transient characteristics. 2 Scope 2. 1 This Standard is intended to establish a common basis for communication between users and suppliers of semiconductor equipment. It provides terminology and methodology aimed at eliminating confusion regarding what previously has been referred to as MFC response time. The conditions and procedures
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