C06400 - SEMI C64 - SEMI Statistical Guidelines for Ship To Control Revision:SEMI C64-0308 (Reapproved 1214) - Inactive 本仕様では，各要求条件を満たすにあたってどのマーキング手法を使用するかは規定していないが，マーキングシンボルは個々のドットをレーザで書き込むものと想定している。

本仕様では，各要求条件を満たすにあたってどのマーキング手法を使用するかは規定していないが，マーキングシンボルは個々のドットをレーザで書き込むものと想定している。

it has been replaced by SEMI C59

All component gases shall adhere to the appropriate SEMI Specification

本仕様は

1-1107 (technical revision)

C06400 - SEMI C64 - SEMI Statistical Guidelines for Ship To Control Revision:SEMI C64-0308 (Reapproved 1214) - Inactive 本仕様では，各要求条件を満たすにあたってどのマーキング手法を使用するかは規定していないが，マーキングシンボルは個々のドットをレーザで書き込むものと想定している。To provide a set of guidelines for the quantitative determination of statistically derived limits from process data for the purpose of defining and maintaining ship to control (STC) limits. This Guide applies to specified properties of specific products for which it is desired to use statistically derived control limits upon which customer notification, negotiated disposition of product, or statistical specifications can be based. Referenced SEMI